■材料：石英■孔直径：0.7×2，φ0.125×8

陶瓷材料的微加工槽宽30微米槽间距：90微米

<Workshape>□24×8.2t（毫米）<Shaping>凸部5mm*15mm<孔加工>11通孔φ...

<Workshape>φ100×5T（毫米）<Hole>φ0.5*21通孔<Counterbore加工>...

<微shape>φ100×0.61t（毫米）<微孔加工>φ0.5通孔<微加工>φ5深度0.3毫米φ1.5...

<Workshape>φ100×2T（毫米）<微槽加工>宽度0.1：深度0.1毫米：<Hole>φ0.4...

<Workshape>φ30×5T（毫米）斜孔加工φ0.5通孔45°φ0.5通孔30°φ0.5通孔15°※超声波加工开倾孔。

玻璃基板的钻孔（孔的直径：200微米）

<Workshape>△70×15T（毫米）<Hole>60毫米深度φ1.2<Narrow槽加工>宽度0...

<Workshape>φ19.5*20L（毫米）<Hole>42孔φ1.0<Grooving>12mm长度*2mm...

<Workshape>外部φ20*内径φ10*3.2t（毫米）<Narrow槽加工>1mm的深度曲线槽宽度0.3毫米

<Workshape>φ36×7.5T（毫米）<Hole>88通孔7.5mm的深度φ1.2<Thread&gt...

<Workshape>□22×3.5T（毫米）<Shaping>加工凸部□10mm×1.5mm<Small孔...

0.5mm深的槽宽度为0.1mm※高品质超声波加工

<Workshape>φ90×9.6t（毫米）锥孔加工12孔φ8→5φ通过<Counterbore>φ80mm深度3mmφ87mm深...